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u7寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面，自動監測工藝參數狀態，20個配方程序，可存儲、輸出、追溯工藝數據。
uPLC工控機控制整個清洗過程，手動、自動兩種工作模式。
u采用質量流量計，氣體流量控制更準確。標配雙路氣體輸送系統，可選多氣路氣體輸送系統?？奢斎?/span>氧氣、氬氣、氮氣、四氟化碳、氫氣或混合氣體等氣體。
u采用多孔道進氣方式，改變傳統等離子清洗機單孔進氣不均勻問題。
uHEPA高效過濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。
u316不銹鋼真空艙，潔凈無污染。
u全真空管路系統采用316不銹鋼材質。
u處理高效均勻，效率高，工藝重復性好。
u合理的結構設計，設備占用空間小。
u可處理各種材質、形狀、尺寸樣品。
u樣品處理溫度低，無熱損傷和熱氧化。
u使用成本低、耗損小。
u產品性能穩定，安裝維護，簡單方便。
u安全保護，艙門打開，自動關閉電源。
u機器運行、停止提示。
2024-07-26 
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