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等離子表面處理儀是利用等離子體技術(shù)對(duì)材料表面進(jìn)行改性的先進(jìn)設(shè)備。等離子體，作為物質(zhì)的第四種狀態(tài)，它由高速運(yùn)動(dòng)的電子、激活狀態(tài)的中性原子、離子和自由基組成，在特定的壓力和能量供給條件下由氣體轉(zhuǎn)化而來(lái)。